洁净室是控制污染的基础。没有洁净室,就不可能批量生产敏感部件。在FED - STD - 2中,洁净室定义为空气过滤、分配、优化、建筑材料和设备房,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,以达到适当的清洁度水平。
洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和空气分布、噪声、振动和照明、静电控制在一定的范围内而设计的房间。也就是说,无论外部空气条件如何变化,其室内均能保持原有的洁净度、温度、湿度、压力等性能要求。
洁净室的主要功能是控制产品所接触的空气的洁净度和温湿度,可以使产品在良好空间环境生产和制造,这个空间我们称之为洁净室。根据国际惯例,无尘净化水平主要依据粒径大于每立方米空气分级标准的颗粒物数量。也就是说,所谓的无尘不是百分之百没有灰尘,而是控制在非常少的单位。当然符合标准中粉尘颗粒的标准相对于我们的普通粉尘来说是很小的,但是对于光学结构来说,即使是一点点的粉尘也会产生非常负面的影响,所以对于光学结构的生产来说,清洁是必然的要求。
直径小于0.5微米的尘粒数控制在3500以下时达到国际无尘标准。
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