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洁净车间的温湿度对生产有至关重要的作用，如果相对湿度控制车间不好，就有可能使房间整体性能退化，也会带来一系列的影响。

1. 细菌生长。细菌和其他生物污染物(真菌、病毒、真菌、螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃的繁殖。有些菌落在相对湿度超过30%时生长。当相对湿度在40% ~ 60%之间时，细菌和呼吸道感染的影响最小，因此洁净室的相对湿度应控制在一定范围内。

2. 洁净车间员工感到室温舒适范围。湿度范围在40%到60%之间，这也是人类舒适的适度范围。如果洁净车间的湿度太高，人们会感到窒息。如果湿度小于30%，人们会感到皮肤干燥、开裂、呼吸不适和情绪不适，这将影响他们的工作。

3. 清洁车间相对湿度控制不佳，会产生静电。当相对湿度超过50%时，静电会迅速消散，但当相对湿度小于30%时，静电会长期存在于绝缘体或不接地表面。洁净车间相对湿度在35% ~ 40%之间是一个合适的范围。半导体净化室通常使用额外的控制来限制静电积聚。

4. 如果洁净车间的相对湿度控制不好，很容易造成洁净车间的金属腐蚀。许多化学反应的速度，包括腐蚀，会随着相对湿度的增加而增加。所有暴露在洁净室周围空气的表面会很快被至少一层水覆盖。当这些表面由能够与水反应的薄金属涂层形成时，高湿度会加速反应。一些金属，如铝，可以与水形成一种保护氧化物，以防止进一步氧化。另一些金属，如氧化铜，则没有保护作用。

5.在相对湿度较高的洁净室内环境中，高浓度的毛细力在颗粒与表面之间形成粘结，增加了颗粒与硅表面之间的粘结力。当相对湿度小于50%时，这种称为开尔文浓度的效应并不重要，但当相对湿度在70%左右时，它就成为颗粒间粘连的主要力量。